LYRA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡的設(shè)計(jì)適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應(yīng)用。借助于高性能軟件，TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應(yīng)用的強(qiáng)大工具。LYRA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。

現(xiàn)代電子光路

·        *的大視野光路設(shè)計(jì)提供各種工作與顯示模式

·        以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉(zhuǎn)換器”

·        結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束

·        全自動(dòng)鏡筒設(shè)置與對(duì)中

·        成像速度很快

·        3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像

·        可選的電子束遮沒(méi)裝置提供了電子束光刻技術(shù)

高性能離子光路

·        高性能CANION FIB設(shè)備提供既快又精確的切片與TEM樣品制備技術(shù)

·        可選的高分辨率COBRA-FIB離子束設(shè)備在成像與銑削過(guò)程中依然保持很高的分辨率

聚焦離子束裝置

·        裝有兩套差異泵的*離子束裝置使離子散射效應(yīng)較更低

·        馬達(dá)驅(qū)動(dòng)高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器

·        電子束遮沒(méi)裝置與法拉第筒作為標(biāo)配

·        同時(shí)可以進(jìn)行離子刻蝕/沉積與SEM成像

·        FIB的操作軟件集成在SEM軟件

·        軟件工具欄包括了基本形狀與可編程的參數(shù)

·        微/納米加工

·        離子束光刻

維修簡(jiǎn)單

只需要很短的停機(jī)檢修時(shí)間，就能使得電鏡*保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個(gè)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)得非常仔細(xì)，使得儀器的效率較大化，操作簡(jiǎn)化。

LYRA3 GM

LYRA 3 GM是一款*由計(jì)算機(jī)控制的聚焦離子束場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)， 有高真空和低真空兩種模式，其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等

LYRA3 XM

LYRA3 XM是一款*由計(jì)算機(jī)控制的聚焦離子束場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)，有高真空和低真空兩種模式，其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點(diǎn)?；赪indows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。