真空紫外分光光度計(jì)V1000

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 沈陽(yáng)佳士科商貿(mào)有限公司
品牌 其他品牌
型號(hào)
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
更新時(shí)間 2019/3/3 19:37:53
訪問(wèn)次數(shù) 555

產(chǎn)品標(biāo)簽

真空紫外分光光度計(jì)

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價(jià)格區(qū)間	25萬(wàn)-35萬(wàn)	接收器類(lèi)	CMOS
儀器結(jié)構(gòu)	雙波長(zhǎng)	自動(dòng)程度	自動(dòng)波長(zhǎng)

真空紫外分光光度計(jì)V1000用于115nm～300nm波長(zhǎng)范圍的光學(xué)特性評(píng)價(jià)。在真空紫外領(lǐng)域，因?yàn)檠鯕獾脑蛴泻軓?qiáng)的吸收，以前都是將光路做成真空測(cè)量，但是V-1000采用吹掃性能好的機(jī)箱，可以進(jìn)行氮?dú)獯祾吆鬁y(cè)量，樣品設(shè)置到測(cè)量開(kāi)始可在短時(shí)間內(nèi)完成。另外，因?yàn)橐p單色器所以除去雜射光，監(jiān)控雙光束方式提高測(cè)光再現(xiàn)性。因此，在157nm實(shí)現(xiàn)0.03%的測(cè)光再現(xiàn)性。

真空紫外分光光度計(jì)V1000

規(guī)格

▼V-1000

	V-1000
光源	氘燈(D2)
分光器	凹面回折格子雙單色器、雙光束方式
入射角度	透過(guò)率5°、45°入射反射率（標(biāo)準(zhǔn)）
波長(zhǎng)范圍	115～300 nm
測(cè)光再現(xiàn)性	157nm附近、標(biāo)準(zhǔn)偏差:σ=0.03%以下 (對(duì)于70%以上透過(guò)材料)
選項(xiàng)測(cè)量	測(cè)量反射率、測(cè)量偏光

大規(guī)模集成電路（Large Scale Integrated circuit）LSI的高集成化使制造過(guò)程的微型化進(jìn)一步發(fā)展，伴隨這個(gè)趨勢(shì)光刻使用光源的波長(zhǎng)向短波長(zhǎng)推移，現(xiàn)在ArF激光(193nm)是主流。為了對(duì)應(yīng)微細(xì)化線寬0.07μm，研究了F2激光(157nm)實(shí)用化。因此，有必要對(duì)光刻機(jī)上使用的鏡頭以及反光鏡等光學(xué)部件在真空紫外領(lǐng)域的光學(xué)特性進(jìn)行正確的評(píng)價(jià)。

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