日本三豐顯微鏡VMU-V 378-505 

使用示例：半導體、電子、液晶相關等產(chǎn)品的生產(chǎn) 品質管理系統(tǒng)、實驗研究裝置使用的光學系統(tǒng) 外觀檢查系統(tǒng)的嵌入式光學單元 微生物等運動物體的觀察 等

可安裝數(shù)碼相機，通過外部顯示器進行觀察和拍攝。 可實現(xiàn)橫向水平、上下顛倒等高自由度的固定方法。 與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。 ★金屬、樹脂、印刷面等表面觀察拍攝 ★微量流體分析用光學系統(tǒng) ★以觀察和分析細胞、微生物等為目的的光學系統(tǒng)

VMU

378 系列 — 視頻顯微鏡系統(tǒng)

顯微鏡單元 物鏡(紫外、近紫外、可視、近紅外)

緊湊輕量型顯微鏡，相機觀察型。適于

檢測金屬表面、半導體、液晶面板、樹脂等。

• 多種鏡體通常用作適用于專業(yè)器械的OEM

(原廠委制) 產(chǎn)品，如那些利用YAG (近紅外、

可見、近紫外或紫外) 激光* 對半導體晶片

進行檢測和修補的設備。

* 不保證激光系統(tǒng)產(chǎn)品的性能和安全性。

應用：切割、修整、校正、 給半導體電路做

標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色

濾光器的修復 (校正錯誤)。還可用作光學觀

察剖面圖以便探頭分析半導體故障。

• 對于VMU-LB 和 VMU-LB， 顯微鏡主件的剛度

和總體性能與之前的型號相比已有所提高。

• 應用*: 晶體硅的內部觀察、紅外光譜特征

分析等。

* 需要紅外光源和紅外攝像機。

• 配有孔徑光闌的遠心光學系統(tǒng)是表面照明

光學系統(tǒng)上的標準配件。于需要均勻

照明的圖像處理。可用于尺寸測量、形狀

檢驗、定位等。

• 設計和制造均能滿足您的需求，如雙攝影

機架、雙(低/ 高) 放大率觀察

 VMU-V

 378-505

Mitutoyo三豐顯微鏡單元

日本三豐物鏡(紫外、近紫外、可視、近紅外)

用于半導體、電子、液晶相關等產(chǎn)品的生產(chǎn)

品質管理系統(tǒng)、實驗研究裝置使用的光學系統(tǒng)

外觀檢查系統(tǒng)的嵌入式光學單元

微生物等運動物體的觀察　等

可安裝數(shù)碼相機，通過外部顯示器進行觀察和拍攝。

可實現(xiàn)橫向水平、上下顛倒等高自由度的固定方法。

與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。

　★金屬、樹脂、印刷面等表面觀察拍攝

　★微量流體分析用光學系統(tǒng)

　★以觀察和分析細胞、微生物等為目的的光學系統(tǒng)

M Plan Apo NIR系列等支持紅外區(qū)的物鏡組合，可在紅外線下實

現(xiàn)可見光下做不到的非破壞性檢查。

　★液晶薄膜、硅基板等的厚度測量

　★MEMS內部的非破壞評價、三維安裝評價

　★半導體封裝(IC)的內部觀察、晶圓鍵合空洞評價傳感器

　★紅外分光特性分析

通過VMU-LB和固定倍率觀察用相機卡口的

組合，能夠對同一位置以不同倍率同時觀

察。

(低倍率側：2/3型、高倍率側：1/2型等)

通過與YAG激光(1064nm、532nm、355nm、266nm)物鏡組合，可實現(xiàn)高精度、高

品質加工。

與簡易支架一起使用，還可作為緊湊型顯微鏡使用。

　★保護膜、有機薄膜等的剝離

　★金、鋁等金屬配線切割、下層圖案的外露

　★FPD的各種缺陷修正

　★光掩模修正

　★標記、修剪、圖像形成、局部退火、劃線

憑借長動作距離設計的物鏡，實現(xiàn)優(yōu)異的操作性。

與定位器、探針臺等組合。

通過與激光加工裝置組合，還可支持不良分析→部分修正無縫銜接的系統(tǒng)。

此外，還提供支持隔著玻璃的、真空內的外觀檢查的系統(tǒng)

日本三豐Mitutoyo 378-888-6物鏡M Plan Apo NUV HR 50X

日本三豐Mitutoyo 378-868-5 50X物鏡M Plan Apo NIR B

日本三豐Mitutoyo 378-867-5 20X物鏡M Plan Apo NIR B

日本三豐Mitutoyo 378-864-5 100X物鏡M Plan Apo NIR HR

日本三豐Mitutoyo 378-863-5 50X物鏡M Plan Apo NIR HR

日本三豐Mitutoyo 378-848-3 50X物鏡G Plan Apo

日本三豐Mitutoyo 378-847 20X物鏡G Plan Apo

日本三豐Mitutoyo 378-846-7 100X物鏡BD Plan Apo HR

日本三豐Mitutoyo 378-845-7 50X物鏡BD Plan Apo HR

日本三豐Mitutoyo 378-844-15物鏡M Plan UV 10X

日本三豐Mitutoyo 378-843-7 100X物鏡BD Plan Apo SL

日本三豐Mitutoyo 378-843-5 100X物鏡BD Plan Apo SL

日本三豐Mitutoyo 378-842-7 80X物鏡BD Plan Apo SL

日本三豐Mitutoyo 378-841-7 50X物鏡BD Plan Apo SL

日本三豐Mitutoyo 378-840-7 20X物鏡BD Plan Apo SL

日本三豐Mitutoyo 378-840-5 20X物鏡BD Plan Apo SL

日本三豐Mitutoyo 378-839-5物鏡M Plan UV 80X

日本三豐Mitutoyo 378-838-8物鏡M Plan UV 50X

日本三豐Mitutoyo 378-837-8物鏡M Plan UV 20X

日本三豐Mitutoyo 378-837-7物鏡M PLAN UV BF 20X

日本三豐Mitutoyo 378-836-7 100X物鏡BD Plan Apo

日本三豐Mitutoyo 378-835-7 50X物鏡BD Plan Apo

日本三豐Mitutoyo 378-834-7 20X物鏡BD Plan Apo

日本三豐Mitutoyo 378-833-7 10X物鏡BD Plan Apo

日本三豐Mitutoyo 378-832-7 5X物鏡BD Plan Apo

日本三豐Mitutoyo 378-831-7 2X物鏡BD Plan Apo

日本三豐Mitutoyo 378-830-7 7.5X物鏡BD Plan Apo

日本三豐Mitutoyo 378-829-5物鏡LCD Plan Apo NIR 100X

日本三豐Mitutoyo 378-828-5物鏡LCD Plan Apo NIR 50X

日本三豐Mitutoyo 378-827-5物鏡LCD Plan Apo NIR 20X

日本三豐Mitutoyo 378-826-5物鏡M Plan Apo NIR 100X

日本三豐Mitutoyo 378-824-5 20X物鏡M Plan Apo NIR

日本三豐Mitutoyo 378-823-5 10X物鏡M Plan Apo NIR

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