【電子氣體分析用氦離子化氣相色譜儀_大量提供氣相色譜儀】

儀器簡(jiǎn)介：

一、電子氣體分析用氦離子化氣相色譜儀的工作原理
        PDHID是利用氦中穩(wěn)定的，低功率脈沖放電作電離源，使被測(cè)組分電離產(chǎn)生信號(hào)。PDHID是非放射性檢測(cè)器，對(duì)所有物質(zhì)均有高靈敏度的正響應(yīng)。

1． 脈沖放電間隔和功率：
PDHID中放電電極距離為1.6mm，改變充電時(shí)間可改變經(jīng)過(guò)初級(jí)線圈的放電功率。充電時(shí)間越長(zhǎng)、功率越大。一般脈沖間隔為200-300μs,充電時(shí)間在40-45μs，基流和響應(yīng)值達(dá)*。因放電時(shí)間僅為1μs，而脈沖周期達(dá)幾百微秒，大部分時(shí)間放電電極是空載。所以放電區(qū)不會(huì)過(guò)熱。

2． 偏電壓：在放電區(qū)相鄰的電極上加一恒定的負(fù)偏電壓。響應(yīng)值隨偏電壓的增加而急劇增大，很快即達(dá)飽和。在飽和區(qū)響應(yīng)值基本不隨偏電壓而改變。PDHID在飽和區(qū)內(nèi)工作，噪聲較低?；髋c偏電壓的關(guān)系同響應(yīng)值與偏電壓。

3． 通過(guò)放電區(qū)的氦流速：

氦通過(guò)放電區(qū)有兩個(gè)目的：a 保持放電區(qū)的潔凈，以便氦被激發(fā)；b 它作為尾吹氣加入，以減少被測(cè)組分在檢測(cè)器的滯留時(shí)間。只是它和傳統(tǒng)的尾吹氣加入方向相反。池體積為113ul，對(duì)峰寬為5s的色譜峰，要求氦流速為6.8-13.6ml/min，如果峰寬窄至1s，流速應(yīng)提高到34-68ml/min，以保持被測(cè)組分在檢測(cè)器的滯留時(shí)間短至該峰寬的10%-20%。

4． 電離方式和性能特征：
PDHID的電離方式尚不十分明朗，綜合文獻(xiàn)敘述，電離過(guò)程有三部分組成：a 氦中放電發(fā)射出13.5-17.7eV的連續(xù)輻射光進(jìn)行光電離；b 被高壓脈沖加速的電子直接電離組分AB，產(chǎn)生信號(hào)，或直接電離載氣和雜質(zhì)產(chǎn)生基流；c 亞穩(wěn)態(tài)氦與組分反應(yīng)電離產(chǎn)生信號(hào)，或與雜質(zhì)反應(yīng)電離產(chǎn)生基流。.
e + AB→AB+ + 2e
e + He→He**→ He* + hν
He* + AB→AB+ + e + He

二. 
        GC-9560-HG氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。該產(chǎn)品以GC-9560氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產(chǎn)的氦離子化（PDHID）檢測(cè)器；采用華愛(ài)色譜中心切割與反吹技術(shù)，其中的所有進(jìn)樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的的六通或十通閥；上述部分與VALCO公司原裝的氦氣純化器、無(wú)死體積取樣閥等部件一起組成一套完整的高純氣體分析整體及解決方案。 
        
 

技術(shù)參數(shù)：

PDHID對(duì)硅烷中氣體雜質(zhì)檢測(cè)限（ppb）
H2   O2+Ar    N2   CO    CH4   CO2    C2    C3   SimHn
50     50     50     50     20     20     20     20     50 

主要特點(diǎn)：

電子工業(yè)氣體:

高純度硅烷氣體雜質(zhì)組份的檢測(cè)

一:應(yīng)用領(lǐng)域：
硅烷在大規(guī)模集成電路（LSI）、超大規(guī)模集成電路（VLSI）和半導(dǎo)體器件制造中，用于氣相外延生長(zhǎng)、化學(xué)氣相淀積等工藝（工序）。
1. 外延（生長(zhǎng)）混合氣 在半導(dǎo)體工業(yè)中，在仔細(xì)選擇的襯底上選用化學(xué)氣相淀積的方法，生長(zhǎng)一層或多層的材料所用的氣體叫做外延氣體。常用的硅外延氣體有二氯二氫硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀積，多晶硅淀積，氧化硅膜淀積，氮化硅膜淀積，太陽(yáng)能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積等。外延生長(zhǎng)是一種單晶材料淀積并生長(zhǎng)在襯底表面上的過(guò)程。 
2. 化學(xué)氣體淀積（CVD）用混合氣 CVD是利用揮發(fā)性化合物，通過(guò)氣相化學(xué)反應(yīng)沉積某種單質(zhì)或化合物的一種方法，即應(yīng)用氣相化學(xué)反應(yīng)的一種成膜的方法。依據(jù)成膜種類(lèi)，使用的化學(xué)氣相淀積（CVD）氣體也不同。

二:硅烷中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點(diǎn)。
目前多數(shù)采用的熱導(dǎo)檢測(cè)器由于靈敏度有限，很難測(cè)定5ppm以下的雜質(zhì)；火焰離子化檢測(cè)器和氧化鋯檢測(cè)器是選擇性的檢測(cè)器，只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì)，均不能很好的滿足硅烷氣體分析的基本要求。
PDHID檢測(cè)器（脈沖放電氦離子檢測(cè)器）是一種靈敏度*的通用型檢測(cè)器，對(duì)幾乎所有無(wú)機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng)，特別適合氣體的分析，是能夠檢測(cè)至ng/g（ppb）級(jí)的檢測(cè)器。

北京京科瑞達(dá)科技有限公司

主要產(chǎn)品：

●色譜類(lèi)：氣相色譜儀，液相色譜儀，凝膠色譜儀，頂空進(jìn)樣器、熱解析儀
●光譜類(lèi)：紫外分光光度計(jì)、原子吸收光譜儀、傅立葉紅外光譜，熒光光譜儀
●二手儀器：二手進(jìn)口氣相色譜儀、液相色譜儀、光譜儀(島津、安捷倫、時(shí)常更新)
●配套設(shè)備：氫氣發(fā)生器、氮?dú)獍l(fā)生器、空氣發(fā)生器、氧氣發(fā)生器
●色譜柱：毛細(xì)管色譜柱，填充柱，液相色譜柱，凝膠柱，糖柱，氨基酸柱
●樣品前處理：固相萃取裝置，溶劑過(guò)濾器，無(wú)油真空泵，超聲波清洗器
●儀器配件：進(jìn)樣墊，進(jìn)樣器，氘燈，液相輸液管，單向閥，保護(hù)柱，手動(dòng)進(jìn)樣閥
●常規(guī)儀器：水質(zhì)分析儀、純水機(jī)、電子分析天平、PH酸度計(jì)

業(yè)務(wù)范圍：
1、幫您建立色譜分析室、色譜氣路整套改造、色譜分析方法，培訓(xùn)色譜操作人員。
2、幫您建立整套實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃與成套儀器項(xiàng)目。
3、專(zhuān)業(yè)維修各類(lèi)進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)氣相色譜儀、高效液相色譜儀、氣體發(fā)生器等分析儀器。
4、免費(fèi)提供各種分析儀器應(yīng)用、維修等技術(shù)咨詢服務(wù)。
5、收購(gòu)與銷(xiāo)售二手進(jìn)口氣相色譜儀、液相色譜儀、光譜儀。
6、長(zhǎng)期/短期租賃各種色譜儀，讓您更大減少成本。

維修服務(wù)：
1、 維修各種進(jìn)口、國(guó)產(chǎn)氣相色譜儀、高效液相色譜儀、氣體發(fā)生器、紫外分光光度計(jì)、原子吸收分光光度計(jì)等分析儀器。

2、 維修島津液相色譜儀、氣相色譜儀；現(xiàn)貨提供該儀器配件與耗材；

3、 維修安捷倫液相色譜儀、氣相色譜儀，現(xiàn)貨提供該儀器配件與耗材；

4、 免費(fèi)提供各種分析儀器應(yīng)用、維修等技術(shù)咨詢服務(wù)；

租賃承諾：
1、提供免費(fèi)分析；
2、免費(fèi)安裝培訓(xùn)使用；
3、提供國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口儀器多種型號(hào)的選擇；
4、租賃期內(nèi)儀器免費(fèi)維修，其中該儀器消耗品維修或更換為有償服務(wù)，同時(shí)包含人為操作不當(dāng)或保養(yǎng)不好引起的損壞；

24小時(shí)*：

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