儀器簡介：

一代 Dimension系列 AFM

Dimension Icon 原子力顯微鏡(AFM）的性能、功能及附件等方面具有全新表現，在聚合物、半導體、能源、數據存儲及材料領域的納米研究中將會得到廣泛應用。 Dimension Icon是Dimension系列產品中的款設備,它基于世界上應用zui廣泛的AFM平臺，集合了數十年的技術創(chuàng)新、行業(yè)內的應用定制及客戶反饋等 于一身。這個系統經過從上到下的設計，在易用性、高分辨率及快速成像等方面有突出表現。

技術參數：

X-Y方向掃描范圍：90um *90um典型值，zui小85um
Z方向掃描范圍：10um典型值，在成像及力曲線模式下；zui小9.5um
垂直方向噪音基底：<30pmRMS, 在合適的環(huán)境及典型的成像帶寬（達到625Hz）
X-Y定位噪音（閉環(huán)）：≤0.15nm RMS，典型成像帶寬（達到625Hz）
X-Y定位噪音（閉環(huán)）：≤0.10nm RMS，典型成像帶寬（達到625Hz）
Z傳感器噪音水平（閉環(huán)）：35pm RMS, 典型成像帶寬（達到625Hz）
整體線性誤差（X-Y-Z）：0.5% 典型值

樣品尺寸/夾具：210mm真空吸盤樣品臺，直徑≤210mm, 厚度≤15mm
電動定位樣品臺（X-Y軸）：180mm*180mm可視區(qū)域；單向2um重復性；雙向3um重復性。
顯微鏡光學系統：五百萬像素數字照相機
                                180um至1465um可視范圍
                                數字縮放及自動對焦功能

控制器：NanoScope V型控制器
工作臺：整合所有控制器、結合人體工學設計，提供直接的物理或可視借口
震動隔絕：整體式氣動減震臺
聲音隔絕：可隔絕環(huán)境中85 dBC的持續(xù)噪音

主要特點：

結合Veeco的行業(yè)的針尖-掃描AFM技術，Icon的溫度補償定位傳感器使Z軸的的噪音水平達到亞-埃米級，X-Y方向達埃米級。在大樣品臺、90微米掃描范圍系統的儀器當中，這種表現是非常突出的，優(yōu)于絕大部分的開環(huán)、高分辨率AFM系統的噪音水平。

Icon不僅具有非常好的分辨率，它還具備許多新的特性，以增加新老AFM用戶操作儀器的便捷性及出圖像速率：
? 設計的掃描管，實現閉環(huán)掃描功能同時，具有開環(huán)掃描管的噪音水平，在大樣品AFM系統中實現*的分辨率
? 全新設計的XYZ閉環(huán)掃描管，在不影響圖像質量下具有非常高的掃描速度，具有非常快的數據采集能力
? 的NanoScope軟件版本，提供直觀的操作流程及默認實驗模塊，將復雜的AFM操作流程轉化為預先設置
? 高分辨率的照相機及X-Y定位，實現更迅速、更有效的樣品定位
? *開放的針尖及樣品環(huán)境，適用于絕大部分的標準或定制實驗
? 硬件及軟件設置適用Veeco現有的及即將推出的所有模式及技術，包括現有的*的HarmoniX納米材料性能成像模式