AE-100M白光干涉儀AE-100M的詳細(xì)資料：白光干涉儀AE-100MAE-100產(chǎn)品用途 結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應(yīng)用領(lǐng)域包含產(chǎn)品特點(diǎn)● 奈米深度3D檢測● 高速/無接觸量● 表面形狀/粗糙度分析● 非透明/透明材質(zhì)皆適用● 非電子束/非雷射的安全量測● 低維護(hù)成本專業(yè)級的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）● 提供多功能又具親和接口的3D圖形處理與分析● 提供自動(dòng)表面平整化處理功能● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能● 深度/高度分析功能提供線型分析與區(qū)域分析等兩種方式● 線型分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Rorghness）與起伏度● （waviness）的測量分析。可提供多達(dá)17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)（Wafer）● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計(jì)分析?！? 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能?！? 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出高速精密的干涉解體軟體（ImaScan）● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉條紋● 垂直高度可達(dá)0.1nm● 高度的分析算法則，讓你不在苦候測量結(jié)果● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺(tái)XYZ位置數(shù)顯示，使檢標(biāo)的尋找快速又便利● 具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得*的干涉條紋對比?！?具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇?！?具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌?！?具有自動(dòng)布補(bǔ)點(diǎn)功能● 可自行設(shè)定掃描方向技術(shù)規(guī)格參數(shù)型號AE-100M移動(dòng)臺(tái)（mm）平臺(tái)尺寸100*100 ，行程13*13物鏡放大倍率10X20X50X觀察與量測范圍0.43*0.320.21*0.160.088*0.066光學(xué)分辨率（um）0.90.690.5收光角度（Degrees）172333工作距離7.44.73.4傳感器分辨率640*480像素機(jī)臺(tái)重量（kg）/載重kg20kg/小于1kgZ軸移動(dòng)范圍45mm , 手動(dòng)細(xì)調(diào)Z軸位置數(shù)字顯示器分辨率1um傾斜調(diào)整平臺(tái)雙軸/手動(dòng)調(diào)整 高度測量測量范圍100（um）（400um ,選配）量測分辨率0.1mm重復(fù)精度≤ 0.1％ （量測高度:>10um）≤10um（量測高度1um 10um）≤ 5nm（量測高度:<1um ）量測控制自動(dòng)掃描速度（um/s）12（zui高） 光源光源類型儀器用鹵素（冷）光源平均使用壽命1000小時(shí)100W 500小時(shí)（150W）光強(qiáng)度調(diào)整自動(dòng)/手動(dòng) 數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算器*處理運(yùn)算屏幕雙核心以上CUP影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕17 " 雙晶屏幕操作系統(tǒng)Windows XP（2）電源與環(huán)境要求AC100 --240 V 50-60Hz環(huán)境震動(dòng)VC-C等級以上 量測與分析軟件量測軟件ImScan量測軟件具VSI/ PVS/PSI 量測模式（PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配）PosTopo 分析軟件分析軟件ISO 粗燥度/階高分析，快速傳利業(yè)轉(zhuǎn)換和濾波，多樣的2D和3D觀測視角圓，外形/面積/體積分析，圓像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換報(bào)表輸出，程序教導(dǎo)量測等。